重結晶碳化硅燒結爐
重結晶碳化硅燒結爐的用途:
用于重結晶碳化硅的高溫燒結和高溫熱處理。
重結晶碳化硅燒結爐的特點:
1.高溫可達2500℃,且可在2400℃高溫下長期穩定工作;
2.爐型有上裝料,下裝料、真空或氣氛保護等多種選擇;
3.爐體雙層水冷,密封性好,全密封結構,帶真空抽氣系統和氬氣置換系統,保護了爐體內氣體的純度;
4.IGBT節能省電,采用立式真空感應加熱方式,加熱效率高,節能省電。
5.空載:升溫速率高達600℃/h;
6.產品生產周期短,從入爐到出爐時間只需要24h-36h(大爐時間長);
7.采用紅外測溫技術,PID分段程序控制升溫曲線。控溫精確,誤差小。
8.安全性高,采用雙層不銹鋼爐殼,夾層通水冷卻,爐外殼溫度低于50℃。帶有氣壓,水壓和高溫報警,同時備有超壓泄氣裝置。
9.采用人機工控觸摸屏進行操控和溫度記錄,操作方便又實用。
10.可根據工藝需要加裝多級過濾系統,能有效的保護真空機組。
11.一機多爐模塊組合結構,可實現一機配多爐。
重結晶碳化硅燒結爐的配置:
控制柜與爐體組合:一機一爐/一機二爐/一機四爐/一機六爐U
爐體結構:立式上開蓋裝料,立式下開蓋裝料
爐門:絲杠升降/液壓升降/手動升降;手動鎖緊
爐殼:內層不銹鋼/全不銹鋼
爐膽:石墨氈/復合硬氈
工作溫度:1600/2000/2400
工作氣氛:高真空/低真空/氫氣保護/惰性氣體保護
加熱器:鎢/模壓三高石墨/細顆粒石墨
真空泵、真空計和紅外測溫儀:進口/國產
中頻電源:IGBT/KGPS
人機界面:觸摸屏/工控機
PLC:歐姆龍/西門子
控溫儀表:日本島電/英國歐陸/國產宇電
記錄儀:無紙記錄儀/有紙記錄儀;進口/國產
電器元件:正泰/施耐德/西門子